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    德高潔(DIGCHER)多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)CVDRCS-800

    產(chǎn)品型號: CVDRCS-800
    品  牌: DIGCHER/德高潔
      價格電議,您可以向供應(yīng)商詢價得到該產(chǎn)品價格
    所 在 地: 河北廊坊市
    更新日期: 2025-01-23
    詳細(xì)信息
     品牌:DIGCHER/德高潔  加工定制:是  類型:壁掛式  
     水溫:冷水  移動方式:底座固定式  型號:CVDRCS-800  
     用途:工業(yè)用  移動方式:底座固定式  型號:CVDRCS-800  
    多晶硅還原爐鐘罩自動清洗烘干系統(tǒng) Bell jar cleaning system

      ■適用范圍

      西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動清洗和烘干。

      ■工作原理

      以高壓水射流為動力,以水力自驅(qū)動三維洗罐器為噴頭,形成360°的網(wǎng)狀噴射表面,完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射,用專用清洗劑等為主要清洗液,用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗,用高純水沖洗,完成清洗過程。

      用經(jīng)過三級凈化(10萬級)的純凈空氣,梯級加熱,*終保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露,可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)。
     

      ■系統(tǒng)特點(diǎn)

            1)技術(shù)能力強(qiáng),設(shè)計(jì)合理,根據(jù)客戶需求,總結(jié)借鑒國內(nèi)外還原爐鐘罩及其它罐類清洗烘干經(jīng)驗(yàn),充分發(fā)揮高壓水清洗和吸除塵的技術(shù)優(yōu)勢,設(shè)計(jì)出本套系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。可根據(jù)使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況,能源條件不同,提供個性化設(shè)計(jì)。

            2)設(shè)備性能可靠,核心部件、元件和附件原裝進(jìn)口。

            3)自動化程度高:PLC+觸摸屏柔性自動控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能。

            4)適應(yīng)范圍廣:可以在一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。

            5)節(jié)能、環(huán)保、安全:提供了預(yù)熱(余熱蒸汽、余熱水或油)加熱清洗水及干燥空氣的方案。全密閉式清洗烘干系統(tǒng),基本消除了對現(xiàn)場及操作人員的污染。

            6)德高潔集團(tuán)在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設(shè)有分公司及辦事處。服務(wù)體系網(wǎng)絡(luò)健全,零配件充足。

      ■工作流程

      還原爐鐘罩到位—預(yù)清洗—清洗劑(堿液)清洗—漂洗—高純水沖洗—凈化熱空氣干燥—常溫干燥—鐘罩吊走。

      注:清洗劑的選擇對清洗效果和作業(yè)安全有直接影響,這方面我公司積累了豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)解決閃爆等問題。

      ■基礎(chǔ)條件

      1)電源:380V/50Hz,30KW,電纜引至控制柜。

      2)蒸汽:壓力0.175-0.9Mpa(G),到指定接口點(diǎn)。

      3)壓縮空氣:不小于流量3NM3/h,壓力0.6-0.75Mpa(G)(氣動閥、氣缸用氣), 指定接口點(diǎn)。

      4)脫鹽水:可提供條件,不小于100L/min,到指定接口點(diǎn)。

      5)純水:不小于 100L/min,到指定接點(diǎn)。

      6)清洗劑:NaOH清洗液等,不小于2立方米。

      7)占地面積:36-80平方米(寬約6-7米,長6-12米

      8)三廢處理:洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣,排放到需方指定處,由需方自行處理,配排污水(池、槽)溝;清洗和烘干產(chǎn)生的廢氣做室外排空排放。
     

      ■設(shè)備組成

      1)高壓熱水清洗動力裝置1套

    由高壓熱水清洗機(jī)及附件(1套),高壓水自驅(qū)動三維洗罐器(1套),三維洗罐器升降裝置(氣動,1套)組成。

      2)熱風(fēng)凈化烘干機(jī)組1套

    進(jìn)風(fēng)凈化等級:10萬級。

      3)清洗烘干工作臺及管道1套

      4)電氣控制系統(tǒng)1套。

    采用PLC+觸摸屏全自動控制,全套德高潔版控制軟件。

      注:水和風(fēng)的加熱方式:電加熱,蒸汽、余熱水或油的熱交換器換熱。
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