多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)，是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料。多晶硅可用于半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽能光伏電池產(chǎn)業(yè)*主要、*基礎(chǔ)的功能性材料，多晶硅生產(chǎn)主要是采用改良西門子法，改良西門子法生產(chǎn)多晶硅的反應(yīng)器主要采用多晶硅還原爐，該方法是將多晶硅還原爐內(nèi)安裝沉積載體通電發(fā)熱，在多晶硅還原爐內(nèi)將高純度氯硅烷與氫氣的混合氣體加熱到1000℃以上發(fā)生反應(yīng)生成硅，硅沉積在上述沉積載體上的過程。
在多晶硅生產(chǎn)過程中，還原爐鐘罩表面上會(huì)沉積一定厚度的多晶硅副產(chǎn)物、硅粉等，但是，多晶硅生產(chǎn)對(duì)還原爐的沉積環(huán)境的潔凈度要求特別關(guān)鍵，任何顆粒性雜質(zhì)、物料等物質(zhì)余留在爐內(nèi)，都會(huì)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量造成影響。所以，在還原爐運(yùn)行一個(gè)周期結(jié)束后，都需要把鐘罩用行車吊到清洗裝置平臺(tái)上對(duì)鐘罩進(jìn)行清洗干凈后，在裝硅芯進(jìn)行下一個(gè)周期的化學(xué)氣相沉積。
通常，對(duì)于多晶硅還原爐鐘罩清洗主要包括清洗和烘干兩個(gè)過程，過去以人工清洗為主，不安全，不環(huán)保，清洗的一致性也難以保證，清洗效果差，自動(dòng)化程度低，效率不高。為此德高潔自主研發(fā)并投入使用了一套自動(dòng)化高壓水多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)，主要用于西門子法多晶硅還原爐鐘罩(爐筒)內(nèi)壁的全自動(dòng)清洗和烘干。
其工作原理是以水力自驅(qū)動(dòng)三維自動(dòng)旋轉(zhuǎn)噴頭，形成360°的網(wǎng)狀噴射表面，完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。其后用經(jīng)過三級(jí)凈化(10萬級(jí))的純凈空氣，梯級(jí)加熱，保證烘干完的鐘罩不再結(jié)露，可直接進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)，采用全密閉式清洗烘干方式，基本消除了對(duì)現(xiàn)場及操作人員的污染。
系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏柔性自動(dòng)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)還原爐鐘罩的自動(dòng)清洗和烘干同時(shí)具有半自動(dòng)或手動(dòng)功能。系統(tǒng)清洗流程：還原爐鐘罩到位→預(yù)清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走，一套系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)多種型號(hào)還原爐鐘罩的清洗烘干。
多晶硅還原爐清洗設(shè)備是多晶硅生產(chǎn)中產(chǎn)出*終產(chǎn)品的核心設(shè)備，也是決定系統(tǒng)產(chǎn)品質(zhì)量、成本的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。德高潔多晶硅還原爐鐘罩自動(dòng)清洗系統(tǒng)采用環(huán)保工藝搭配清洗設(shè)備，結(jié)合自動(dòng)化智能化的清洗方式，不僅能夠提高多晶硅還原爐鐘罩的清洗效率及安全性，更能夠?yàn)槎嗑Ч柽�原爐鐘罩清洗時(shí)的質(zhì)量、環(huán)保等問題進(jìn)行加持，目前系統(tǒng)已經(jīng)覆蓋90%的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，為多晶硅還原爐生產(chǎn)廠家提供更加環(huán)保、高效、安全的還原爐鐘罩自動(dòng)清解決方案，為多晶硅生產(chǎn)行業(yè)的快速發(fā)展助力。
